超纯水 (i级) 产水水质*
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电阻率 |
18.2 mω·cm @ 25˚c |
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toc (未加装185/254 nmuv灯) |
<10ppb |
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toc (加装185/254 nmuv灯) |
<5ppb |
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颗粒物 (粒径 > 0.22 μm)** |
<1/ml |
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微生物** |
<0.1cfu/ml |
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内毒素*** |
<0.001eu/ml |
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rna酶*** |
<0.01ng/ml |
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流速** |
>0.5l/min(最大可达42l/hr) |
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bisphenol a(双酚a) **** |
<0.005ppb |
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diethyl phthalate |
<0.2ppb |
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di-n-butyl phtalate（dnbp）**** |
<0.2ppb |
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nonylphenol（np）**** |
<0.1ppb |