pbt材料检测中心，扫描电镜形貌分析实例

扫描电子显微镜（SEM）是依靠电子束与样品相互作用产生俄歇电子、特征 X 射线和连续谱 X 射线、背散射电子等信号，对样品进行分析研究。

扫描电镜在表征样品时，受诸多参数的影响，不同类型样品应选用合适的参数，才能呈现出样品更真实的表面信息。如在不同的加速电压下，电子束与样品作用所获得的信号会有很大的差别。从理论上说，入射电子在样品中的散射轨迹可用 Monte Carlo 的方法模拟（如图 1 所示），并且推导得到入射电子大穿透深度 Zmax。

Zmax = 0.0019 (A/Z) 1.63 E0^1.71/ρ

图 1 电子在钛（Ti）金属中的运动轨迹

随着加速电压的增加，入射电子激发深度越深，探头接受的信号包含大量材料内部的信息。