1、方法：
测量高电阻常用的方法是直接法和比较法。
直接法是测量加在试样上的直流电压和流过试样的电流而求得试样电阻。直接法主要有检流计法和直流放大法（高阻计法）比较法主要有检流计法和电桥法。
2、精度：
对于大于10的10Ω的电阻，仪器误差应在±20%的范围内；对于不大于10的10Ω的电阻，仪器误差应在±10%的范围内。
3、保护：
测量仪器用的绝缘材料一般只具有与被测材料差不多的性能。试样的测试误差可以由下列原因产生：
①外来寄生电压引起的杂散电流通渠道。通常不知道它的大小，并且有漂移的特点；
②测量线路的绝缘材料与试样电阻标准电阻器或电流测量装置的并联。
使用高电阻绝缘可以改善测量误差，但这种方法将使仪器昂贵而又笨重，而且对高阻值试样的测量仍不能得到满意的结果。较为满意的改进方法是使用保护技术，即在所有主要的绝缘部位安置保护导体，通过它截信了各种可能引起误差的杂散电流；将这些导电联接在一起组成保护系统，并与测量端形成一个三端网络。当线路连接恰当时，所有外来寄生电压的杂散电流被子保护系统分流到测量电路以下，这就可大大减少误差的可能性。
在系统的保护端和被保护端之间存在的电解电势，接触电势或热电运势较小时，均能补偿掉，使它们在测量中不引起显著误差。
在电流测量中，由于被保护端和保护端之间的电阻与电流测量装置并联可能产生误差，因此前者至少应为电流测量装置输入电阻的10倍，为100倍。在电桥法测量中，保护端与测量端带有大致相同的电位，但电桥中的一个标准电阻与不保护端和保护端之间的电阻并联，因此，后者至少为标准电阻的10倍，20倍。
在开始测试前先断开电源和试样的连线进行一次测量，此时设备应在它的灵敏度许可范围内指示无穷大的电阻。可用一些已知值的标准电阻业检查设备运行是否良好。
体积电阻率
为了测业体积电阻率，使用的保护系统应能抵消由表面电流引起的误差。对表面泄漏可忽略的试样，在测量体积电阻时可以去掉保护。
在被保护电极与保护电极之间的试样表面上的间隙宽度要均匀，并且在表面泄漏不致引起测量误差的条件下间隙应尽可能窄，实际使用时zui小为1MM。
表面电阻率
为测定表面电阻率，使用的保护系统应尽可能地抵消体积电阻引起的影响。