日本材料巨头AGC公司近日宣布，在其AFLAS™ FFKM氟橡胶产品线中正式推出两款全新规格产品，即SF系列。这一突破性进展标志着该系列材料在制造工艺上实现了重大革新，彻底摒弃了传统生产中必须使用的表面活性剂和含氟聚合溶剂。
新推出的SF系列产品在保持与常规产品同等卓越性能的同时，完美契合了市场对绿色制造材料的迫切需求。这一成就得益于AGC自主研发的独家聚合技术，该技术成功解决了长期以来行业面临的难题：即在去除表面活性剂和含氟溶剂的情况下，依然能够保证氟橡胶的高反应活性与生产效率。初期，这项技术将率先应用于耐高温型FFKM氟橡胶，并逐步丰富AFLAS™ FFKM系列，专门服务于半导体制造设备领域。
据悉，该新型产品已于本月正式投入市场销售。AGC公司计划未来将这一创新技术扩展至其他类型的FFKM氟橡胶，并逐步将其引入AFLAS™ SDKM系列中。AFLAS™ SSKM系列作为工业级弹性体，以其在耐化学性、耐热性及耐等离子体腐蚀方面表现出的顶级性能而闻名，广泛应用于半导体制造、石油钻探及医疗健康等严苛环境。
特别是其中的AFLAS™ FinalKM产品，凭借其对等离子体极强的耐受性，已成为半导体刻蚀工艺中的关键材料。其卓越的抗降解能力使其成为刻蚀设备的理想密封材料，不仅显著延长了设备的维护周期，更大幅提升了生产操作的安全性。
长期以来，表面活性剂和含氟溶剂被视为生产高性能FFKM氟橡胶不可或缺的助剂，它们在提升单体反应活性和生产效率方面发挥着关键作用。然而，近年来半导体等行业客户对无此类物质的产品需求激增，尽管业界尝试了多种无溶剂方案，但往往难以兼顾高性能指标。AGC此次通过多年技术积累，成功攻克了这一长期技术壁垒，实现了无溶剂、无表面活性剂产品的大规模量产。
对于中国半导体及高端制造行业而言，AGC这一技术突破意味着供应链将提供更环保且高性能的材料选择，有助于国内企业应对日益严格的环保法规，同时提升关键设备的运行稳定性与安全性。