Shimadzu三维光学轮廓仪维修仪器仪表出现故障后，先初步判断故障的几种可能性。在故障范围区域内，把可疑部分电路断开，以确定故障发生在断开前或断开后。通电检查如发现故障消失，表明故障多在被断开的电路中，如故障仍然存在，再做进一步断路分割检查，逐步排除怀疑，缩小故障范围，直到查出故障的真正原因。
通过电极将电压散布在玻璃层并建立一无变化的电压电场，同时触点的电容就会发生变化，使得与之相连的振荡器发生变化，通过丈量变化可以确定触摸位置信息。红外线式触摸屏这种红外线式触摸屏的工作原理比较简朴，只需在显示器上加上光点距架框，无需在屏幕表面加上涂层或接驳控制器，然后在光点距架框四边排列了红外线发射与接收感测元件，在屏幕表面上，任何触摸物体触摸屏幕某一点时，便会挡住经由该位置的横竖两条红外线，计算机便可即时算出触摸点位置。因为电容随温度、湿度或接地情况的不同而变化，故其不乱性较差，往往会产生漂移现象。另外当表层被触摸时，电流从玻璃层的四个角汇集，控制器计算电流传得的位置的间隔，从而确定触摸的正确位置。
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或者是因为触摸屏表面有水珠在移动，要想让触摸屏恢复快速响应，必需重新更换或者进级系统，或者用抹布擦干触摸屏表面的水珠。触摸屏一般用串口进行信的传输，从PS/2端口守信，而TPS屏幕是从主机电源直接取电。假如指示灯不亮，说明没有取到信，控制盒上的PS/2线可能坏了。假如灯亮着，但依旧不闪，说明控制盒坏了，因此我们必需更换控制盒。假如更换控制盒仍是不行，有可能是屏幕被压得太紧，需要将周围的螺丝轻微松一下，由于触摸屏是由特殊材料组成，它本身不太轻易损坏。假如串口是坏的或被禁用，将导致驱动程序无法安装，由于安装驱动时，会自动寻找串口。即使能够安装，也会泛起鼠标不动或无法定位。不要用串口鼠标来判定串口的好坏。
其可能的故障是：总线控制器损坏、Interbus模块损坏、电缆断或者连接不好等。由于总线控制器和各种Interbus模块都带有状态指示的发光二极管，所以在遇到Interbus总线故障时可以打开控制柜的门，按照Interbus结构图（如图1所示）逐个检查总线控制器和Interbus模块的故障指示发光二极管。在Interbus的总线控制器VMEMCI板和节点设备（Interbus模块）上有多个不同颜色（主要是红色和绿色）的发光二极管，发光二极管的不同状态对应着不同的Interbus总线状况。根据发光二极管给出的信息可以分析判断出Interbus总线故障位置，更换有故障的Interbus模块，从而修复轮转射频电源。
Shimadzu三维光学轮廓仪维修在进行替换前，要先用一点时间分析故障原因，而不要盲目乱换元器件。如故障是由于短路或热损伤造成，则替换上的好元件也可能被损害。再如一只二极管烧坏，可能是由于该管的工作电流和反向峰值电压不够，若此时换上另一只同型号的二极管也仅仅是把故障暂时做了处理，而未。
另外，元器件的更换均应切断电源，不允许通电边焊接边试验。所替换的元器件安装焊接时，应符合原焊接安装方式和要求。如大功率晶体管和散热片之间一般加有绝缘片，切勿忘记安装。在替换时还要注意不要损坏周围其他元件，以免造为故障。