微流控系统是指利用微加工技术将生物、化学领域所涉及的各种操作分析功能，如样品预处理、混合、反应、分离和检测等集成在一个微芯片上的分析系统。微流控芯片具有微型化、集成化、高校、快速、极微的试剂消耗量和成本低等优点，可广泛应用于生物医学、疾病诊断治疗、环境监测与保护、军事和太空探索等领域，是当前科技发展的前沿和热点。微阀作为微流控系统的关键执行部件，是对芯片通道内流体流动起控制限流作用的关键器件，其作用是实现流体通道的开、关以及流体流向的切换。它在微流控系统中的作用相当于二极管在集成电路中的作用一样，是微流控系统中重要的部件之一。微阀的发展是微流控系统发展水平的一个重要标志，微阀的研究已成为目前微流控系统研究中活跃的一个分支。
近年来，微阀的发展十分迅速，基于各种不同设计结构和原理的微阀相继被报道，微阀的性能也得到很大提高，比如微阀的反响泄露、死体积、响应时间、生物兼容性及成本等都得到一定程度改善。但目前微阀的商业化程度仍存在很多问题需要解决，主要是微阀的制作设备要求及原材料要求高，导致加工生产成本高。目前微阀结构较为复杂，通常为非平面的多层立体结构 ，需采用多层硅键合工艺加工而成，工艺 繁琐复杂加工周期较长。更为重要的是这种非平面的微阀结构不易集成于微流控系统中，增加了微流控系统 的集成化难度 。因此开展新型微阀的研究，简化微阀的结构和制作工艺，降低成本和集成化难度，对微流控芯片的发展具有重要的意义 。
基于此 ，提出了PDMS平面微阀的研究。PDMS(Polydime—thylsiloxane，聚二甲基硅氧烷)作为一种柔性很好的聚合物材料，具有高气透性、光学透明、耐用、无毒、生物兼容性良好等特点。微阀的制作采用了标准的聚合物模塑法微细加工技术，制作工艺简单、材料及加工成本低、可批 量生产，可广泛应用于各种微流控系统。
微阀的结构如图1所示，主要由2层PDMS片组成：上层PDMS片和下层 PDMS片。上层 PDMS片不包含微结构，主要用作盖片，与下层PDMS片封合后，形成具有密闭通道的微阀器件。下层 PDMS片为微阀的功能层，集成了阀片、阀塞、微通道等微结构。其中阀片一端垂直固定于流体通道(400 m宽、200 m高)的内壁；而阀塞位于阀片的左侧，两端则都被固定于微通道的侧壁上，中间则 由一正对于阀片中央的阀塞通道(宽度80pm、长度 500Ixm)隔开 。
我司经过多家企业合作，开发出的KRR-XXX（厚度20-500微米），硬度30A，伸长率900%，薄膜柔软弹性好，气压/液流对于薄膜微阀开关的的形变响应性高，形变量大。
我司自主研发的液体PDMS硅橡胶可应用于微流控芯片批量化生产，其主要特点：
1、优异的生物相容性，无毒性；
2、无荧光性；
3、无二甲苯、乙苯等溶剂残留；
4、芯片固化成型后易于脱模；
5、深度固化且无小分子副产物，耐化学性；
6、粘度低易于流动。
我司自主研发的有机硅薄膜已经实现连续批量化生产，厚度在20~500μm范围（误差控制在5%），可以在薄膜上进行微流道的构造，为微流控芯片产业化生产提供了解决方案。欢迎生物芯片行业研究人员来电咨询。
包尔得PDMS薄膜应用推广工程师；刘磊13073650296（微信）
