普森开发气静压PDMS主轴 满足半导体晶圆加工需求


	普森开发气静压PDMS主轴 满足半导体晶圆加工需求

普森精密主轴工业公司荣获第31届中国台湾精品奖,成为主轴制造业内首家获此肯定的企业。该公司针对半导体及电动车等目标产业,开发出结合周边系统的整合性新产品“气静压精密主轴PDMS系列”,以满足半导体晶圆切割、减薄及研磨等高精度加工需求。

气静压主轴通过高压气体注入主轴与轴承的微小间隙,使主轴悬浮于中央,在近乎无摩擦状态下实现超过10万RPM的高速运转。普森研发的PDMS系列突破传统设计框架,利用气体黏度仅为润滑油千分之一的特性,搭配气压流道结构设计,在主轴内部形成具备承载刚性的气压轴承。该系列产品具备三大特性:一是环保无油,以外部气体经微孔进入定转子间隙产生静压浮升取代传统油脂润滑钢珠轴承,有效避免油料对制程环境的污染;二是零磨耗高速运转,以内藏高效率马达直接驱动维持百分百动力传递,转速可达60,000rpm,配合气体轴承设计实现真正零磨耗以降低能源损失;三是智能化,内建温度与震动等传感器,便于客户实时掌握设备状态并调整参数以提升产出品质。

普森精密主轴产品涵盖气静压主轴、车床主轴、加工中心机主轴、磨床主轴等,目前行销美国、德国、日本、中国、印度等全球20余个国家。为落实“制造业服务化”理念,公司开发了远距离主轴异常检测技术,可透过最新检测技术进行高速主轴自动化异音监测,构建异音、寿命及缺陷检测分析模型,提供从接单、设计、生产到售后服务的整体解决方案。普森将于SEMI 2026半导体展南港馆1楼Q5352摊位展出相关产品。

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