智能测硫以的气路出现故障的时候便会使分析结果偏低，可通过关闭过滤开关上的阀门，观察“抽气”流量计浮子是否慢慢下降，如能降到1L以下则气密性良好，否则气路有漏气或堵塞部位，当气路系统出现故障时可通过以下几步检查处理，
1.首先检查从高温炉中石英管的抽气管接头到空气开关之间的硅像管是否有破损并及时更换（一般在抽气管接头处容易出现破损）
2.检查过滤开关的凡士林是否起到密封效果否则均匀添加凡士林，并检查过滤开关中的脱脂棉是否合适只要能起到过滤气路便可，并非越多越好，否则可堵塞气路
3.检查点解杯的进气口和出气口硅像胶管接头是否漏气，，拔下后重新安装进行确认
4.检查干燥管上下接头处密封圈是否完好，并添加凡士林防止漏气，另外检查下接头是否有硅胶落入，以防堵塞气路
5.调节气路中的单向节流阀使抽气量在2.0L左右，吹气流量在1200+200，并锁死单向节流阀防止微型真空泵震动改变流量大小
6.检查微型真空泵（抽气泵）是否故障，漏气，若有则更换新的真空泵