单级涡旋式干泵
idp3和idp15
? 外形紧凑，低噪音，低震动
? 高性能、无油、带气镇口
? 运行时间计时器可选择，可合理安排维护保养计划
抽速：3.0m3/h、12.8m3/h 极限真空：33pa、1.3pa
sh110和sh112
? 内置安全隔断阀，异常断电或损坏时防止污染真空系统
? 整泵泄漏率小
? 标配运行时间计时器，可合理安排维护保养计划
抽速：5.4m3/h 极限真空：6.6pa
双级涡旋式干泵
triscroll 系列
? 三涡旋同时进气，拥有更大抽速，更低极限真空，外形更加紧凑
? 配备轴承吹扫接口可提高真空泵对可冷凝气体的承受能力。气
镇接口提高了真空泵对可冷凝气体的排出能力
ts300 抽速：12.6m3/h 极限真空：1.3pa
ts600 抽速：25.2m3/h 极限真空：0.93pa
triscroll inverter 系列
? 变频电机，依据系统压强，调节电机频率
? 可实现更低的噪音、震动和更大的抽速
ts300 inverter 抽速：15m3/h 极限真空：1.3pa
ts600 inverter 抽速：30m3/h 极限真空：0.93pa