固定管板式换热器对于早期的8英寸芯片工厂来说,大部分硅片传送、存储和分发是通过人工操作完成的。目前多数8英寸和12英寸芯片工厂设有自动物料处理系统(AMHS),其优点在于有效利用洁净室空间、有效地管理生产中的芯片、有效地降低操作人员的负担,近而减少在传送硅片时的失误。固定管板式换热器在一些12英寸生产工厂,运输系统可延伸到不同的生产区域,借助吊挂传输系统(OHT),将芯片直接传递到设备端。今后自动物料处理系统中还要在提高生产速度、缩短生产周期和快速适应芯片制造环境变化等方面进行持续改善,在首次投片到成熟生产期间快速发展起来。同时适应和满足芯片工厂的各种需求。
在计算自动物料处理系统时,应考虑生产周期、生产线成品率、固定管板式换热器研发和生产工艺验证投片需求、机械手臂的处理能力等因素来决定储位数量和载送距离。 厂址选择应符合国家及地方的总体规划、技术经济指标、环境保护等要求,并应符合企业自身发展的需要,基础设施优良。
固定管板式换热器厂址所在区域应大气含尘量低,并应无洪水、潮水、内涝、飓风、雷暴威胁。
4.1.3 厂址场地应相对平整,固定管板式换热器距外界强振动源及强电磁干扰源较远。