高分子材料测试配方，扫描电镜分析服务

对比图 2 背散射电镜(BSD)图片可以看出同一样品位置在不同加速电压下，样品表面成分衬度、形貌发生了明显的变化。

1、2 区域在 5kv 成像时，样品表面有白色衬度相，在 15kv 成像时表面主要为灰色衬度相 + 少量白色衬度像。

对此样品 1 区域成分分析结果如图 3 所示，白色衬度相主要由 Zr 组成，灰色衬度相主要由 O、Si、Mg、Al 组成。

由此看以看出，15kv 成像时，高能电子束穿透了表面含 Zr 层，呈现出了下部的主要由 O、Si、Mg、Al 组成相。在 5kv 成像时，电子束未穿透表面含 Zr 层，呈现出更接近于真实的样品表面的成分衬度相。

3 区域在 5kv 下表面细节清晰有立体感，15kv 下由于电子穿透深，表面细节丢失且无立体感。因此对于此类样品，低电压下对于表面形貌的呈现更真实。

图3