CEMS一般由烟尘监测子系统（粉尘）、气态污染物监测子系统（SO2、NOX）、烟气参数监测子系统(温度、压力、流速、O2)、系统控制及数据采集处理子系统四个基本部分组成。具体介绍如下：
本系统由置于烟囱上的采样探头、粉尘仪和温压流一体化探头，以及置于小屋中的分析机柜、标气和压缩气源组成。
ü 采样探头负责烟气采样，内置陶瓷或不锈钢滤芯用于过滤烟气中的粉尘。
ü 伴热管线高温伴热避免烟气中水蒸气冷凝。
ü 粉尘仪用于测量烟囱粉尘浓度。
ü 温压流用于测量烟囱内烟气的温度、压力和流速。
ü 分析机柜负责抽取烟气，过滤、冷凝除水后测量SO2、NOx、O2组分。
ü 标气用于校准分析仪表。
ü 空压机产生压缩空气，用于对伴热管线、采样探头、温压流进行定期反吹。
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