金属材料:金属薄膜、涂层、箔片、板材、合金薄片、纳米薄膜、电极薄膜、氧化物薄膜等。
半导体材料:硅薄膜、GaAs、InP、CdTe、GaN薄膜、SiC、ZnO、Perovskite薄膜等。
塑料制品:聚乙烯薄膜、聚丙烯、聚氯乙烯薄膜、聚苯乙烯、聚酯薄膜、聚碳酸酯、聚氨酯、聚甲醛薄膜等。
相关仪器膜厚检测方法和相应的仪器设备:
X射线荧光光谱仪:用于分析材料中元素的含量及薄膜厚度。
电子探针仪:用于测量材料表面的成分和膜厚。
原子力显微镜:用于观察材料表面的形貌和测量膜厚。
椭偏仪:用于测量透明薄膜的膜厚和光学性质。
膜厚检测相关标准GB/T 33826-2017 玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法
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