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六氟化硫，化学式为SF6，是一种无色、无臭、无毒、不燃的稳定气体，分子量为146.06，在20℃和0.1 MPa时密度为6.1 kg/m3，约为空气密度的5倍，六氟化硫在常温常压下为气态。六氟化硫分子结构呈八面体排布，键合距离小、键合能高，因此其稳定性很高，在温度不超过180℃时，它与电气结构材料的相容性和氮气相似。
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