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线性伺服驱动器在精密运动平台的应用

更新:2024-09-07 08:00 发布者IP:120.237.217.245 浏览:0次
线性伺服驱动器在精密运动平台的应用
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高性能伺服驱动器是精密运动平台的关键组成部分。同时,精密运动平台又是许多关键设备的重要组成部分,其运行速度和定位精度决定了设备的生产效率和精度。现代工业的发展要求精密工件台朝着高速、高精度和大行程的方向发展。特别是在 IC 制造的关键设备中,要求精密运动平台的运动速度能够达到 400mm/s 以上,加速度能够达到 6g 以上,并能达到 3nm 的定位精度,还要能实现 400×400mm 的平面运动范围,显然这对精密运动平台控制系统中的驱动器性能提出了很高的要求。


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第一,驱动器的输出电流噪声必须很小。对于电机而言,驱动电流对应于电机驱动力,其噪声水平对于电机提供给负载的驱动力的稳定水平,从而影响精密运动控制系统的定位精度。
第二,驱动器的电流环带宽必须要大。带宽越大,说明系统响应指令越快。
按照驱动器功率转换原理的不同,驱动器可分为线性驱动器和 PWM 驱动器两种。
线性驱动器主要包括前置推动、功率放大和电流闭环控制。其中采用线性模拟功率放大元件进行功率变换是其区别于 PWM 驱动器的主要地方,相比 PWM 驱动器,其驱动平滑,线性度好,没有开关噪音,且具有很高带宽,一般可达 10KHz,所以广泛用于电机驱动控制系统中尤其是对噪声敏感场合。相比PWM驱动器功耗高,需要较大的散热片,体积较大。也可以采用水冷方案,减小散热片尺寸。
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PWM 驱动器具有较大功率密度,同等尺寸下可以做到较大的功率。其利用对多个晶体管的开关控制来调制具有固定电压的直流电源,在某一固定频率下,通过调节晶体管的单个周期内的开通关断时间,从而来输出期望的电压、电流。这类驱动器具有很显著的优点就是内部能耗低,能量转换效率高,电路设计简单,成本较低。但其也存在问题:在高频调制下产生的谐波易对自身及外部电路产生干扰,且带宽一般较线性驱动器低。
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Varedan线性伺服驱动器产品有LA系列、LALD低漂移系列、6U机架系列、紧凑型系列、Peak Servo 3U机架系列,放大器产品PAD功率运算放大器。可以为OEM客户提供定制服务。
Varedan 线性伺服驱动器是高性能线性伺服驱动器品牌。线性伺服驱动器产品适用于低噪声、高带宽以及电流过零时无失 真的场合。采用高速 DSP 设计,实现了复杂的算法机制,提供实时错误监测功能,能够有效防止包括过流在内的潜在危害。所有 Varedan 驱动器都具备安全操作区(SOA)功能,能够检测到每个功率管的输出,从而在发生过流时保护驱动器免受伤害。不具备此功能的线性驱动器很容易遭受过流破坏。
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Varedan 线性伺服驱动器是真正的 CLASS AB 类线性输出,结合了 CLASS A 放大器和 CLASS B 放大器的优点,实现线性输出的同时提高放大器效率,纯模拟功放,数字电路仅仅起到保护、监控和显示功能,不参与电流环闭环控制。为用户提供平滑的电流输出控制,可使电流波动稳定在微安级别,输入输出为纯线性关系,电流环带宽高达 10Khz,为高精度运动平台提供电流环解决方案,用户可以在控制端实现更高性能的速度和位置控制。



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