介电强度测试方法，薄膜残余应力检测
有损测试分为部分释放法、完全释放法等；无损测试分为压痕应变法、X射线衍射法、超声法、磁性法、同步辐射法与中子衍射法等。以下将做详细介绍：
压痕应变法
压痕应变法是一种利用球形压痕诱导产生的应变增量测定残余应力的方法。有无损、操作简单、适用范围广、精度高等优点。
缺点：只能用于平面应力的测定，对测量数据的处理比较复杂。
超声法
由于超声波的方向性好、穿透能力强、可以沿试样表面传播，因此可以检测试样表面以及大体积范围的内部残余应力，环形件残余应力测定也十分适用
介电强度测试方法，薄膜残余应力检测
更新：2024-11-12 11:00 发布者IP：112.81.163.35 浏览：0次
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