CJ1-XO40MB
A1S-XO40M

CJ1-XO40MC
CJ1-XY40MC
CJ1-XY40MC
CJ1-XO40MC
CJ1-XO40MC

CJ1-XO20MW
CJ1-XY20M
CJ1-XY40M
CJ1-XO40MW
CJ1-XO50S
G2R-OS16-LP-ID
G2R-OS16-LN-ID

G2R-OR16W-SP-ID
CJ1-XY20M
CJ1-XO20MW
CJ1-XO20M
CJ1-XY40M
CJ1-XO40MW
CJ1-XO40M
G2R-OR32M-SP-ID

G2R-OR08-SP-ID
G2R-OC32M-LN-ID
G2R-OR32M-SP-ID

一般FFU系统由于单位风量的能耗较大,因此洁净室的冷负荷亦相应增加。2具体情况下的评价FFU用于老建筑物改造成洁净室时,其综合经济性一般往往可取。洁净度要求严的洁净室,末级过滤器满布率1%时,对大的系统采用FFU,当前还是不经济的;对小系统有意义作具体比较。对洁净度要求不甚严的洁净室,末级过滤器满布率4%时对大系统综合经济性往往相差不多,但对IC工厂而言FFU系统的灵活性是重要的,因此当前IC工厂对过滤器满布率4%时,采用FFU系统已经普遍。