在电子器件方面,六氟化硫可以作为电子束制作和清洗设备的原料。例如,在真空管制造过程中,六氟化硫可以作为高压放电的介质,用于清洗真空管内的表面。此外,六氟化硫还可以作为半导体器件的表面处理剂,在磷化高阻型多晶硅和多晶硅的制备过程中,使用六氟化硫作为表面氧化剂,可以得到更好的表面质量和电性能。
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