a. 标准舟 – 三角舟 eco vap® - 梯形舟t-vap®的使用方法
最佳操作方法:
为发挥蒸发舟最佳性能,达到最长使用寿命,请注意以下操作要点:
- 两排夹具要保持对准,表面要保持光洁。
- 端面或侧面要使用石墨纸保证良好的电接触和热传导。
- 在新舟首次加热时,在凹槽中央放一截铝丝,以方便准确判定蒸发舟的温度(注意:使用无槽的三角舟时,不可使用本方法)。
- 铝丝的接触点应该位于舟长的1/3 至一半处。
- 新舟第一次加热不可太快,以免影响放气。
- 新舟第一次使用,送铝速度应由正常的 75% 左右开始逐渐增加,并逐步调低功率,以达到最大液铝铺展面积。
- 新舟首次加热以15分钟为佳,并以上述方法送铝开始蒸镀。
- 每卷蒸镀完毕时,
1: 先停止送铝
2: 30-60秒后再关掉电源 - 关闭电源大约2 分钟后,至蒸发舟冷却至暗红色,开始关真空。
b. 闪舟
闪舟操作注意事项:
为发挥蒸发舟最佳性能,达到最长使用寿命,请注意以下操作要点:
- 两排夹具要保持对准,表面要保持光洁。
- 侧面要使用石墨纸保证良好的电接触和热传导,降低刚性接触。
- 将蒸发舟装入夹具时,应小心操作,避免造成机械应力。蒸发室中和夹具连接的扁电缆要足够长,夹具与底座不可完全固定,以便让蒸发舟加热后有膨胀的空间。
- 加热速度不可太快
- 主蒸发时间要尽可能短,蒸镀电压尽可能低,以保证蒸发后的 "干舟" 时间尽可能短。
- 真空度最低 2 x 10-3 mbar.
- 如在使用中发现槽中有金属光泽的结晶物,表示蒸发舟过热,应降低蒸发功率或电压;
如有残铝,表示蒸发舟温度过低,应增加功率。.