时间检查电机机电流接地电缆（将电机与控制器断开二、故障报警信息（参数c0168是当前故障信息存储，有8个）Ccr 071系统故障 跳闸Ceo 061 通讯错误 数据错误cde（220/221）通讯错误
光媒体CVD/PVD溅射机MITSUBISHI直线电机维修与电机或设备连接是否正常；②检查编码器信号电缆是否完好；③检查编码器与控制板的连接；④检查编码器是否受周围设备干扰；⑤校正编码器位置，排除其它干扰。6干扰故障伺服电机故障原因：主要是传导干扰和电磁感应干扰。伺服电机解决方法：①主要是检查各接地线是否良好；② 检查各线是否连接正常。定期除尘，定期检查螺栓是否松动，检查冷却风扇是否运转正常，检查电缆线及信号线是否有松动、过热、变形现象，检查整流模块
光媒体CVD/PVD溅射机MITSUBISHI直线电机维修
一、伺服电机运转时有异常噪音
伺服电机在正常运行时发出少量噪音（嗡嗡声）是正常的。但是，如果它确实发出异常噪音或嗡嗡声太大以至于令人讨厌；那么就有问题了，最有可能是由以下原因造成的：
1、伺服电机联轴器松动。
2、电源电压不平衡，可能过高。
3、轴承磨损或缺少润滑油。
4、润滑油中存在沙子等杂质。
5、电机反馈信号线或控制器速度参考信号上存在噪音。
光媒体CVD/PVD溅射机MITSUBISHI直线电机维修故障排除
1、检查并紧固伺服电机联轴器。
2、检查并相应调整电源电压，以确保伺服电机接收适当的功率。
3、对伺服电机进行维修：（i）更换或清洁轴承。（ii）更换或添加润滑油。
4、检查所有电机和控制器电缆、接线和连接。
5、检查伺服电机是否正确接地。
扇旋转是否流畅，进风口是否有灰尘及堵塞物都是日常检查不可忽略的地方。此外日常检查还要注意：电动机是否过热，有异味；伺服电机及电机是否有异常响声；伺服电机面板电流显示是否偏大或电流变化幅度太大，输出UVW三相电压与电流是否平衡等RUN DISABLE原因: 未收到运行允许信号即在外部连锁（DI2=0）电路故障。在外部设备里出现故障。方法:检查参数16.01 的设置，启动运行允许信号，或检查相关接线。
二、伺服电机振动过大
有时，运行中的伺服电机的振动可能非常剧烈。伺服电机过度振动的一些可能原因包括：
1、轴承磨损或轴承磨损造成气隙不均匀或过大。
2、伺服电机与所驱动负载未对准。
3、伺服电机旋转轴弯曲。
4、转子不平衡。
5、伺服电机联轴器同轴度太低，特别是使用皮带轮的地方。
6、伺服电机安装不当。
益过大所致。 报警，产生的原因一般有：A.编码器接线有问题：断线、短路、接错等等，请仔细查对；B.电机上的编码器有问题：错位、损坏等，请送修。3.松下伺服电机在很低的速度运行时，时快时慢，象爬行一样，怎么办？伺服电
光媒体CVD/PVD溅射机MITSUBISHI直线电机维修故障排除
1、如有必要，请检查、修理或更换轴承。
2、检查电机与驱动负载、联轴器的对准情况，以及任何可能的垫片运动。
3、检查并纠正电机和负载平衡问题。
4、如果伺服电机是皮带耦合的，请拆下皮带轮，查看同轴度是否仍然太低或电机是否仍然不平衡。
5、检查伺服电机支架是否磨损或松动。
诊断和应采取的措施 检查以下各项： • 电源电压（P0210）必须在铭牌标明的允许范围内。 • 直流中间回路电压调节器必须使能（P1240）并正确进行参数设置。 • 斜坡下降时间（P1121）必须与负载惯量相匹配。 • 所需的制动功率必须在规定的极限值范围内。 说明 ： 惯量越高，所要求的斜坡时间越长；否则，就会施加制动电阻。 F0
电机维修故障范围“不能启动、过流、过压、欠压、过热、过载、输出不平衡、无显示、不能启动、开关电源损坏、模块损坏、接地故障、不能调速、输出缺相、限流运行等艾克特伺服电机维修全系列光耦7840的检测：78上电可以解决，或者重新插拔电机编码器，使得接触良好。 五、故障代码：E-9,E-10 故障意义：制动电阻导通时间过长。 产生原因：母线电压假性过高，或者进线交流电大于250v。 解决方法：如果要涉及电路板维修、进口及国产伺服电机维修、伺服驱动器维修、伺服电机维修、伺服控制器维修、各类数控系统维修、工业用电源维修、直流调速器维修、伺服器维修、工控机维修、plc维修、各种大中小型显示屏维修、触45始能灯不亮（绿色不亮）、指示灯不亮；按急停后，驱动器不停，电机还转等情况下匀为电源故障，西门子6SN1145模块输出控制点损坏维修，报故障维修，电源板等不亮维修，欠压维修，缺相过流等维修。一旦出现
高。 4.故障：运行不稳定（伺服电机锁定到位，在无控制的情况下运行或在减小的转矩下运行） A相和B相，A相和C相或B相和C相颠倒了。正弦，余弦或转子引线颠倒。正弦，余弦，转子引线组颠倒。1、2.THM 电机过负荷断路(电子过流保护) 电机是否在过负荷状态下使用。 E.THT 伺服电机过负荷断路(电子过流保护) 电机是否在过负荷状态下使用。 E.IPF 瞬时停电保护 调查瞬时停电发生的原P711、 NT20M-DN121-V2、NT20M-DN131、NT20M-DT121-V2、NT20M22-V1、NT20S-ST128、NT20S-ST128B、NT20S-ST161B-EV3线15.伺服电机使用过程中要定期维护,保证及时散热,保证带载能力16.伺服电机使用中要保持环境温度不能超过40度,超过40度就要减低带载能力 ABB伺服电机举例分析举例1 :控制盘无显示,但是风机可以
.4故障代码：AMBINET TEMP 故障原因：伺服电机工作环境温度过低。 处理方法：电气室空调考虑增加空调，提高伺服电机工作环境温度；如果应急想尽恢复快作业的话，可以使用电吹风等加热工具提高环缺相、过流、过压、欠压、过热、过载、接地、参数错误、 有显示无输出、模块损坏、报错。触摸屏无显示，屏幕不亮，黑屏，蓝屏，花屏等。伺服电机驱动电路故障 凯恩帝数控系统触摸屏作为设备的输出，又称之为触控板
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