百级洁净车间对静电的控制采取了一系列特殊且全面的措施,以确保生产环境的稳定性和产品质量。以下是对这些措施的具体介绍:
一、使用防静电材料和涂层地面与工作台:车间地面、工作台以及其他关键部件都采用具有导电性能的防静电材料制成,如导电瓷砖、导电塑料地板或导电涂层。这些材料能够将静电从人体或设备上有效地导出,减少静电的积累和释放。
半导体器件的存放:半导体器件应盛放在防静电塑料盛放器或防静电塑料袋中,这种防静电盛放器有良好导电性能,能有效防止静电的产生。
静电消除器是另一个关键的防静电措施。这些设备通过释放离子或提供电离路径来中和静电电荷。它们通常安装在洁净车间的关键位置,如生产线上方或设备周围,以确保静电得到及时有效的中和。常见的静电消除器包括离子风枪、离子头、离子棒等设施。
三、控制湿度湿度对静电的产生和积累有重要影响。在百级洁净车间中,通常会控制湿度在适当的范围内,例如30%~60%的相对湿度水平,以降低静电的风险。在北方地区或在干燥的冬季,静电产生的故障率要大于在东南沿海地区或其他季节,因此保持一定的湿度对于减少静电产生至关重要。
四、建立接地系统建立良好的接地系统也是关键。通过将带电物体与地面连接,可以有效减少积累的静电电荷。这包括确保设备和工作台等金属部件能够良好地接地,以及工作人员在操作过程中保持良好的接地状态。
地面接地:洁净室应设一个独立的静电接地系统,包括地面接地金属网支系统、生产线工作站(台)接地支系统。
人员接地:对于操作人员,应通过手腕带接地,通过防静电鞋或脚跟带,再经防静电地面向大地泄放静电。
服装:工作人员应穿戴符合防静电要求的服装,如防静电工作服、防静电鞋等。这些服装能够减少静电的产生和积累,并防止静电对产品的损害。
防静电手带:对于操作人员,应在手腕上佩戴防静电手带,这种手带应有良好的接地性能,以有效导出人体产生的静电。
安装静电监测设备:可以实时监测静电的水平。一旦检测到静电水平超过预设的阈值,可以及时采取消除静电的措施,避免对产品造成损害。
加强环境监控:在关键区域安装温湿度传感器,实时监测并记录数据。一旦湿度低于安全阈值,立即发出警报,提醒管理人员及时采取措施。
定期培训:组织员工参加防静电知识培训,增强其对静电危害的认识及防护意识。
案例分享与实操演练:通过案例分享、实操演练等方式,使员工掌握正确的防静电操作方法,减少因人为因素导致的静电问题。
静电检测:对进入净化车间的所有物品进行静电检测,确保无静电残留后方可进入。
除静电处理:对于已经产生静电的物品,需采用设备进行除静电处理,防止其对生产环境造成不利影响。
综上所述,百级洁净车间通过采用防静电材料和涂层、安装静电消除器、控制湿度、建立接地系统、实施人员防静电措施、安装静电监测设备、加强防静电培训与意识提升以及实施严格的防静电物品管理制度等一系列措施,全面控制静电的产生和积累,确保生产环境的稳定性和产品质量。