电子工业
在电子工业中，六氟化硫被用作蚀刻气体，主要用于半导体器件的制造过程中。
它可以在高温下与金属反应，从而地去除不需要的金属部分，实现微电子器件的精细加工。
冶金工业
在冶金工业中，六氟化硫被用作反应气体，用于金属的精炼和提纯。
例如，在铜的精炼过程中，六氟化硫可以与杂质反应，生成易于分离的化合物，从而提高铜的纯度。
科学研究
在科学研究领域，六氟化硫被用作实验气体，用于研究其化学性质和反应机理。
由于六氟化硫分子结构的特殊性，它还被用作光谱分析和量子化学研究的探针分子。
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