随着中国半导体制造业的持续扩张，稳定且可持续的晶圆厂运营对环保技术的需求日益迫切。德国DAS Environmental Experts公司正式推出其SALIX湿式洗涤器产品家族，这是一系列专为处理半导体制造中湿法化学工艺废气而设计的高效点源处理系统。该发布标志着国际环保技术巨头针对中国本土市场需求的深度响应。
SALIX系统专为应对半导体生产中严苛的环境而设计，确保在高负荷下仍能保持极高的去除效率和运行稳定性。该系统能可靠地去除现代单片晶圆清洗系统废气流中的异丙醇（IPA）、氨气和（HF）等关键物质，为安全可持续的半导体制造提供关键保障。此外，该技术还能有效去除气体流中的颗粒物、盐分和液滴。其坚固的系统设计支持高设备可用率和长维护周期，直接助力晶圆厂的可靠运营。
SALIX产品家族的核心优势在于其灵活的组合策略。作为市场上体积最小、最紧凑的系统之一，SALIX既适用于新建晶圆厂，也适用于现有工厂的改造升级。DAS Environmental Experts提供了四种不同配置的产品，赋予半导体制造商广泛的选择空间：全新发布的SALIX系统拥有更优的性能和优化的运行模式；SALIX MINI是针对空间受限安装场景的紧凑型两级系统；全新推出的SALIX MICRO则采用高度紧凑配置，并集成预洗涤段，便于灵活集成。这种结构化的产品组合使客户能根据工艺要求、厂房布局及集成需求，精准选择最合适的系统。
在兼容性方面，SALIX系统设计可与所有主流工艺设备无缝对接，并适应广泛的湿法化学应用场景。其紧凑的设计和灵活的配置支持在现代晶圆厂中高效集成，帮助制造商在优化环境绩效的同时提升运营效率。该系列产品将于2026年3月25日至27日在上海新国际博览中心举办的SEMICON China 2026展会上正式亮相，参观者可前往DAS Environmental Experts展位（N2馆2619号）深入了解。
DAS Environmental Experts自1991年在德累斯顿成立以来，已在半导体行业环保技术领域深耕三十余年。作为全球工业废气和废水处理领域的技术领导者，DAS集团拥有超过950名员工，在九个国家设有分支机构。其产品在德国制造，代表了最高的质量和灵活性标准。除了提供全面的服务外，DAS还在德累斯顿、台湾和美国设有创新与支持中心，持续投资于可持续研究，并与全球客户共享技术成果。
