扫描电镜检测物质的形貌和尺寸
扫描电镜测试 :
高能电子束轰击样品表面,激发各种信号。可以对陶瓷、金属、粉末、塑料等样品进行形貌观察及成分分析。如:
-形貌观察(SEM)
-微观尺寸测量
-成份分析(EDS)
-锡须观察
-IMC观察等
扫描电子显微镜主要用于各种材料的微观分析和成分分析,已经成为材料科学、生命科学和各生产部门质量控制中不可缺少的工具之一。扫描电子显微镜与其他近代测试技术相结合用来研究原材料的矿物结构形态与材料工艺、性能的关系;研究材料的微观结构、物相组成与其性能的关系;寻找改进材质的途径和研制预见性的新材料,进行品质管理、异物分析、失效分析等工作。
一、扫描电镜的原理[1]
扫描电子显微镜是一种利用高能聚焦电子束扫描样品表面,从而获得样品信息的电子显微镜。所以其使用电子束为照明源,电子束在样品表面扫描,利用电子和物质作用所产生的信息结合电子光学原理进行成像。判断扫描电镜性能主要依据分辨率和有效放大倍数。分辨率即能够分辨的小距离。