典型的湿度传感器性能、特性和功能
下面，让我们概述一下通用MEMS湿度传感器的一些基本性能指标。
湿度测量精度：对于 20% 到 80% 之间的湿度，这些精度通常在 ±02% 到 ±5% RH 之间运行。传感器的工作范围为0%至****（非冷凝），但精度较宽松。仔细阅读规格：有些指定了典型精度，而不是*大值。温度精度一般优于±1°C。
温度范围：大多数工作温度范围至少为 -25 °C 至 +85 °C，有些范围更宽。然而，有时RH精度声明并不能覆盖整个温度范围，尤其是极端的低温或*高温度。一些规格表对此不清楚。
校准：这些传感器校准会随着时间的推移而缓慢变化。正常使用时，典型规格为每年 ±0.5% RH。在高湿度下延长时间可以加速这种性能转变。污染物也会导致问题。一些传感器包括一个加热器，可以激活该加热器以进行漂移校正。
响应时间：这些类型的传感器的响应时间通常在很大程度上取决于气流。典型规格是在 5 到 10 秒内实现 63% 的响应，每秒 1 米的气流。带有保护性滤波器盖的传感器将慢得多，并且响应时间可能未指定。这只适用于快速变化的湿度，例如使用喷水或蒸汽来增加湿度的控制系统。
挑战：凝结或潮湿的水是一个问题，但在清洁应用（无污染物或化学品）中，传感器*终应该恢复。几个传感器指定冷凝后恢复 5 秒或 10 秒。在严重的情况下，如果您的传感器有漂移校正加热器，则可以使用漂移校正加热器。
请注意，我没有找到关于液体形式的水的规格说明。传感器应该被适当屏蔽，这会减慢它的响应。当然，电路板无论如何都不应该弄湿。
模拟输出：在研究本文时，我发现只有两家制造商在MEMS IC传感器上提供模拟输出，Sensirion和TE传感器（测量专业）。两者内部均为数字，如图3所示，但增加了数模转换以提供模拟RH和温度输出。有一些较旧的传感器是纯模拟的，但它们不包括存储的校准，线性化或温度补偿。