单级变隙电容的相对变化量为：
非线性误差为： 结论：要提高灵敏度，应减小d0，但非线性误差却增大 差动式结构：
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电容式传感器是将被测量（如尺寸、压力等）的变化转换成电容量变化的--种传感器。 1．工作原理 由物理学可知，两个平行金属极板组成的电容器，如果不考虑其边缘效应，其电容为 C=(s/d 式中 ε--两个极板间介质的介电常数； s--两个极板相对有效面积； d--两个极板间的距离 由上式可知，改变电容C的方法有三种，其一为改变介质的介电常数ε；其二为改变形成电容的有效面积；其三为改变两个极板间的距离。而得到电参数的输出为电容值的增量ΔC，这就成了电容式传感器。 2．类型 根据上述原理，在应用中电容式传感器可以有三种基本类型，即变极距（或称变间隙）型、变面积型和变介电常数型。它们的电极形状有平板形、圆柱形和球平面形三种。 a）极距d变化型
d0小，
一般C0=20~100pF，d0=25~200μm， b）面积变化型
c）介质变化型
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大。但d0过小，易引起击穿或短路。可采用高介电常数的材料（如云母等）作介质。
微位移测量
ET 200pro CPU 1516pro F-2 PN 包括两部分：
CPU 1516pro F-2 PN (6ES7516-2PNxx-0AB0) 和
CM CPU 2PN M12 / 7/8" 连接模块 (6ES7194-4AP00-0AA0)
两个部件必须单独订购。
CPU 1516pro F-2 PN 功能：
功能强大的处理器：
该 CPU 每条二进制指令的执行时间可低至 10 ns。
大容量工作存储器：
1.5 MB，用于程序；5 MB，用于数据
SIMATIC 存储卡作为装载存储器；
允许附加固件更新、数据日志和归档等功能
灵活扩展能力：
含有*多 16 个模块（I/O、电机启动器、变频器）的单层组态。*大 1 m 的站宽度
用于连接分布式 I/O 的 IO 控制器功能以及用于通过 PROFINET 接口将 CPU 连接到上位 IO 控制器的智能设备功能：
PROFINET IO RT/IRT 接口，带 3 个端口（2 x M12，1 x RJ45）
带 1 个 M12 端口的 PROFINET IO RT 接口
集成通信功能：
编程器/OP 通信
PROFINET IO
开放式 IE 通信（TCP，ISO-on-TCP 和 UDP）
OPC UA Server / Client (Data Access)
Web 服务器
S7 通信
S7 路由
用于错误 (Er)、运行状况 (R/S)、维护 (MAINT)、电源 (24 V DC) 诊断指示灯，以及每个端口一个链路 LED 指示灯
供货范围：
包括端接模块的CPU 1516pro F-2 PN；连接模块 CM CPU 2PN M12 / 7/8" 必须单独订购。