随着全球对“双碳”目标的共识越来越高,绿色能源成为全球能源转型的重要方向,光伏产品的需求将持续走高。在光伏行业的蓬勃发展的背景下,晟鼎精密利用等离子技术,研发出国内首创等离子石墨舟干式清洗设备与工艺。
石墨舟干法等离子清洗可用于去除石墨舟表面的氮化硅镀层,提高硅片的转化效率和生产良率,为光伏行业带来了重要的创新和进步。
石墨舟清洗的必要性
石墨舟是什么?在光伏电池片制程中,硅片会进行氮化硅镀层,氮化硅膜具有减反射作用和钝化作用,能提高硅片的太阳能转化率,而硅片在PECVD过程中会用到了石墨舟作为工装载具。
石墨舟作为镀膜工序中硅片的载具使用,表面也会被沉积上氮化硅薄膜,膜层厚度积累到一定程度会影响到硅片的镀膜工艺。
例如:
①局部氮化硅膜脱落,引起舟的表面状态发生变化;
②氮化硅膜很厚会引起舟的导热性能发生变化,局部过厚会引起镀膜不均匀及色差片的产生。使用一定次数后需要定期清洗去除表面的膜层。
石墨舟传统湿法清洗的五大弊端
目前清洗石墨舟采用的都是传统湿法清洗工艺,但现有湿法清洗技术存在五大弊端:
①清洗时间过长
湿法清洗一个石墨舟直到烘干需要16-20个小时左右,清洗效率低,石墨舟流转缓慢,需购买较多的石墨舟用于周转;
②成本高
成本主要包含①化学品费用;②能耗费用和纯水费用;③ 人工费用;④因为清洗时间长,企业一般要多买实际用量的2倍左右的石墨舟参与周转;
③HF挥发性强,强腐蚀及剧毒,作业安全要求高,人体危害及环境破坏大。
④HF对陶瓷配件腐蚀快,一般需要对舟体拆解后分开清洗,工程量大;
⑤清洗流程长,设备占地面积大;
石墨舟干法清洗的优势
基于传统石墨舟湿式清洗工艺的诸多缺点,晟鼎利用等离子技术,研发出国内首创等离子石墨舟干式清洗设备与工艺。
技术创新是产品发展的内核,晟鼎11年以来一直专注等离子技术的研发及应用开发,结合行业发展,在新领域的不断拓展,石墨舟干法清洗方式也将在光伏行业中发挥更大的作用,为行业的绿色转型贡献更多力量。