什么是薄膜？通常，薄膜是一种薄而软的透明薄片。用塑料、胶粘剂、橡胶或其他材料制成。薄膜科学上的解释为：由原子，分子或离子沉积在基片表面形成的二维材料。例：光学薄膜、复合薄膜、超导薄膜、聚酯薄膜、尼龙薄膜、塑料薄膜等等。薄膜被广泛用于电子电器，机械，印刷等行业。按薄膜成型所用原料分类：有聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜、聚氯乙烯薄膜和聚酯薄膜等。下面，微谱介绍关于薄膜成分分析知识。
一、薄膜成分分析方法:
1、X射线光电子能谱；（10纳米，表面）；
2、俄歇电子能谱；（6nm，表面）；
3、二次离子质谱；（微米，表面）
4、电子探针分析方法；（0.5微米，体相）
5、电镜的能谱分析；（1微米，体相）
6、电镜的电子能量损失谱分析；（0.5nm）
为达此目的，成分分析按照分析手段不同又分为光谱分析、质谱分析和能谱分析。
（1）光谱分析
主要包括火焰和电热原子吸收光谱AAS，电感耦合等离子体原子发射光谱ICP-OES，X-射线荧光光谱XFS和X-射线衍射光谱分析法XRD；
（2）质谱分析
主要包括电感耦合等离子体质谱ICP-MS和飞行时间二次离子质谱法TOF-SIMS。
（3）能谱分析
主要包括X射线光电子能谱XPS和俄歇电子能谱法AES
二、薄膜成分含量检测
1.薄膜的成分含量的检测标准
DIN 41850-4-1976薄膜集成电路.第4部分:材料、厚膜电阻成分的评价方法
2.薄膜成分含量检测范围：
光学薄膜、复合薄膜、超导薄膜、聚酯薄膜、尼龙薄膜、塑料薄膜等等。
材料分析、成分分析、含量分析等。
以上就是小编为大家带来的关于薄膜成分分析方法，薄膜成分含量检测的相关内容介绍