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X射线光电子能XPS可以做哪些分析项目?

更新时间:2019-09-02 14:46:33 信息编号:542615
X射线光电子能XPS可以做哪些分析项目?
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在飞秒检测技术中心,XPS的应用还是比较广泛的,可以深入做一些分析项目,比如以下几个:

(1)常规XPS分析:宽谱、元素分谱采集及常规数据处理(元素含量和价态分布)

(2)XPS深度刨析:氩离子刻蚀,不同深度的XPS元素含量分析

(3)角分辨XPS:不同出射角度的常规XPS元素分析

(4)微区XPS分析:成像(mapping或者imaging)选区,微区XPS元素含量和价态分析。

(5)XPS平行成像:常规XPS元素分析,XPS平行成像。



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