SEM-EDS主要作用观察材料表面的微细形貌，断口及内部组织。对材料表面微区成分定性定量分析。在飞秒检测做SEM-EDS测试对样品有以下几点要求：
（1）送检样品必须为干燥固体，块状、片状、纤维状、颗粒或粉末状均可。
（2）应有一定的化学、物理稳定性，在真空中及电子 束轰击下不会挥发或变形；无磁性、放射性和腐蚀性
（3）对含水份较多的生物软组织样品，先进行临界点干燥前的固定、清洗、脱水及用醋酸（异）戊酯置换等处理。
（4）图像观察样品应预先镀金膜 ，成份分析样品必需镀碳膜。一般情况下 , 样 品体积不宜太大（≤ 5x5x2mm 较适合）。