问：能谱分析能检测哪些元素？其检测结果的精度怎么样？
答：能谱仪可以检测元素周期表中原子序号大于3的元素，即除氢（H）、氦（He）、锂（Li）三种元素外，其他元素都可以通过能谱分析检测。但是对于原子序数小于11的轻元素，其能量谱峰非常靠近，且经常和原子序数大于11的重元素的谱峰重叠，其定量分析会因受到干扰，检测结果的可靠性下降。因此，对于原子序数小于11的轻元素，只适合做定性的主成分分析。
能谱分析仪能检测的最低质量分数是0.1%，但当元素含量质量分数低于1%时，检测的误差较大，其检测结果准确率下降，只能作为定性参考。因此EDS能谱通常用于对质量分数高于1%的元素进行定量，且对于原子序数大于10的元素给出较可信的定量结果。相对误差一般在1%至10%之间，受样品条件、仪器状态和操作人员的水平等因素的影响而不同。