氦质谱检漏测试 测试目的利用氦质谱仪感测漏入系统中的微量的氦气来测漏，并根据检测到的氦气的量来确定漏率的大小。
相关名词及解释真空度：处于真空状态下的气体稀薄程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度单位：Torr 、Pa。1托=1/760大气压=1毫米汞柱1托=133.322帕1帕=7.5×10-3托漏率：密闭真空空间在外界标准大气压和单位时间内， 物质泄漏的速率。漏率常用单位：Pa.m3/sec、mbar.l/sec、 Pa.m3/sec=1 mbar.l/sec=1 分子泵：通过高速旋转的叶轮，当气体分子与涡轮叶片相碰撞时就被驱向出气口再由前级泵抽除。
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