水分、氧分、颗粒检测（三台仪器并联使用）
4.1测试目的和测试标准水分检测的目的主要是为了避免管道内水含量过高时，会发生化学反应，对制程造成影响。氧分检测的目的主要是为了避免管道内氧含量过高时，会发生化学反应，对制程造成影响。例如，芯片在生产过程中，原本大气中O2会和Si产生化学反应：O2+Si=SiO2,为原始的氧化成，如果管道内的氧含量过高，原始的氧化层会超出原本已经计算好的厚度，如此会严重影响接下来各阶段的制程。颗粒检测主要是检测管道内微粒子的粒径大小和数量多少。如果管道内微粒子过多会对Wafer良率影响很大。检测标准：水分检测≤10ppb氧分检测≤10ppb颗粒检测0.1um≤5pcs,0.1um以上为0pcs
重庆科洋检验检测有限公司是第三方检测机构，金属类项目成分分析检测，焊接工艺评定测试，气体纯度检测，气体成分分析，气体杂质含量检测中心，出具CMA第三方气体检测报告！实验室会提供多台不同仪器，根据不同类型的产品，为您提供测试服务。
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检测流程：电话/网上咨询-填写测试申请表-送样检测/上门取样检测-检测周期3-5日-签约付款-领取报告
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