氦质谱检漏测试
测试目的利用氦质谱仪感测漏入系统中的微量的氦气来测漏,并根据检测到的氦气的量来确定漏率的大小
相关名词及解释真空度:处于真空状态下的气体稀薄程度,通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。
真空度单位:Torr 、Pa。1托=1/760大气压=1毫米汞柱1托=133.322帕1帕=7.5×10-3托漏率:密闭真空空间在外界标准大气压和单位时间内, 物质泄漏的速率。漏率常用单位:Pa.m3/sec、mbar.l/sec、 Pa.m3/sec=1 mbar.l/sec=1 分子泵:通过高速旋转的叶轮,当气体分子与涡轮叶片相碰撞时就被驱向出气口再由前级泵抽除。
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检测流程:电话/网上咨询-填写测试申请表-送样检测/上门取样检测-检测周期3-5日-签约付款-领取报告
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