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晶圆软打标如何选择激光光源

更新:2024-12-22 09:00 发布者IP:114.92.45.2 浏览:0次
晶圆软打标如何选择激光光源
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晶圆软打标是一种在半导体制造过程中对晶圆表面进行标记的技术,主要用于标识和追踪每个晶圆的唯一代码。

与传统通过激光烧蚀在晶圆表面刻蚀印记的硬标记不同,软打标采用的是一种浅退火标记工艺,通过精细的热处理改变晶圆表面的材料性质实现标记。它对晶圆的表面影响非常小,非常准确,不会像硬标记一样产生碎屑。


晶圆打标被广泛应用于半导体、电子元器件的制造和质量控制,通过标记实现对电子器件的识别、追踪和管理。





晶圆软打标的优势



高精度与细致性

激光打标技术能够在极小的区域内进行高精度标记,达到毫米到微米的量级的准确度。仿造和更改困难,有助于防伪。


高速度

激光打标技术具备快速标记的能力,提升整体生产效率,满足半导体制造行业的高效率要求。


高灵活性

激光打标机可轻松调整标记内容和位置,适应个性化需求,能够处理简单的序列号到复杂的二维码等多种标记形式。


高耐用性

激光打标产生的标记具有良好的耐化学清洗和物理磨损的能力,确保标记在后续加工过程中的持久性和可靠性。


环境适应性

激光打标机能够在多种环境下工作,包括无尘室等特殊环境,确保打标过程不受外部环境因素的影响。


自动化兼容性

激光打标技术易于与自动化生产线集成,支持自动化打标,进一步提高生产效率并减少人为错误。







产品推荐 




在晶圆软打标的过程中,激光器的选择和参数设置至关重要。
能量密度、峰值功率和脉宽决定了打标的深度和点径。光斑聚焦在工件表面的形状决定了点的圆度,而激光脉冲能量的稳定性 P2P (pulse to pulse stability) 是关键因素,微小的能量变化也可能会影响标记的质量。
Iradion 的 Nanio 系列和 Vivio系列激光器具有 P2P 性能,可真实达到 2% 以内,是业界头部水平。5um深度的软打标,深度误差仅 ±0.1um
合理选择激光器及其参数,可以有效提升打标质量和生产效率,确保半导体产品的可追溯性和质量控制。

Iradion Nanio 调 Q 纳秒激光器 



Nanio 调 Q 纳秒激光器拥有良好的光束质量、优化脉冲宽度和高脉冲强度,专为各种工作应用而设计。多种附加选项可进行定制,具有更高的灵活性。


  • 脉冲选择器 AOM 
  • 控制和操作方式
  • 激光接口和软件控制
  • 故障保护
  • 安全光闸和电子设备
  • 电源线长度 1 至 20 m 
  • 光束扩展盒
  • 马达衰减器


  • Vivo 调 Q 纳秒激光器 



    Vivio 调 Q 纳秒激光器采用一体化概念,配备了完全集成的单板电源和控制电子设备。不仅具备超洁净紫外线技术,同时还集成了闭环空气净化系统,确保了超长的紫外线寿命,可以离线操作。


  • 对脉冲能量具有准确、高速的控制

  • 脉冲稳定性

  • 脉冲宽度短

  • 坚固紧凑的激光一体化设计

  • 激光寿命长

  • 运行成本低





  • 大客户案例 



    Iradion 的产品被众多注重品质的制造商所青睐,国内晶圆级激光领域大族激光,半导体、光电和材料加工领域的德国 Innolas Semiconductor, 都是 Iradion 的重要客户。
    Innolas Semiconductor 对组件选择有严苛的要求,只选用市场上品质好的产品。Iradion 作为其晶圆打标核心部件的供应商,从选配到售后都提供了定制化的服务。



    图片由Innolas Semiconductor 提供

    Iradion 期待以品质与服务与您携手。更多内容请联系我们的销售人员。




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    主要经营:激光器 CO2激光器 调Q激光器 DPSS激光器 陶瓷激光器 爱镭激光

    Iradion 爱镭激光是一家主要从事激光器的生产、研发及制造的公司。总部位于奥地利 Wels,销售和制造工厂位于美国马萨诸塞州乌克斯布里奇、德国克瑞林和中国深圳。Iradion 为广泛、多样的激光应用提供解决方案,在激光技术方面拥有数十年的经验。Iradion 爱镭激光 的核心激光技术可用于多种应用,例如切割、取孔、雕刻、打标和划线。 处理所有类型的材料,不受行业限制。同时,Iradion 所拥有的技术,可以对独立激光工艺进行开发。


    主要产品包括,CO₂ 激光器、纳秒激光器、超短脉冲激光器、定制激光器。


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