晶圆软打标是一种在半导体制造过程中对晶圆表面进行标记的技术,主要用于标识和追踪每个晶圆的唯一代码。
与传统通过激光烧蚀在晶圆表面刻蚀印记的硬标记不同,软打标采用的是一种浅退火标记工艺,通过精细的热处理改变晶圆表面的材料性质实现标记。它对晶圆的表面影响非常小,非常准确,不会像硬标记一样产生碎屑。
晶圆打标被广泛应用于半导体、电子元器件的制造和质量控制,通过标记实现对电子器件的识别、追踪和管理。
晶圆软打标的优势
高精度与细致性
激光打标技术能够在极小的区域内进行高精度标记,达到毫米到微米的量级的准确度。仿造和更改困难,有助于防伪。
高速度
激光打标技术具备快速标记的能力,提升整体生产效率,满足半导体制造行业的高效率要求。
高灵活性
激光打标机可轻松调整标记内容和位置,适应个性化需求,能够处理简单的序列号到复杂的二维码等多种标记形式。
高耐用性
激光打标产生的标记具有良好的耐化学清洗和物理磨损的能力,确保标记在后续加工过程中的持久性和可靠性。
环境适应性
激光打标机能够在多种环境下工作,包括无尘室等特殊环境,确保打标过程不受外部环境因素的影响。
自动化兼容性
激光打标技术易于与自动化生产线集成,支持自动化打标,进一步提高生产效率并减少人为错误。
产品推荐
在晶圆软打标的过程中,激光器的选择和参数设置至关重要。
能量密度、峰值功率和脉宽决定了打标的深度和点径。光斑聚焦在工件表面的形状决定了点的圆度,而激光脉冲能量的稳定性 P2P (pulse to pulse stability) 是关键因素,微小的能量变化也可能会影响标记的质量。
Iradion 的 Nanio 系列和 Vivio系列激光器具有 P2P 性能,可真实达到 2% 以内,是业界头部水平。5um深度的软打标,深度误差仅 ±0.1um
合理选择激光器及其参数,可以有效提升打标质量和生产效率,确保半导体产品的可追溯性和质量控制。
Iradion Nanio 调 Q 纳秒激光器
Vivo 调 Q 纳秒激光器
对脉冲能量具有准确、高速的控制
脉冲稳定性
脉冲宽度短
坚固紧凑的激光一体化设计
激光寿命长
运行成本低
大客户案例
Iradion 的产品被众多注重品质的制造商所青睐,国内晶圆级激光领域大族激光,半导体、光电和材料加工领域的德国 Innolas Semiconductor, 都是 Iradion 的重要客户。
Innolas Semiconductor 对组件选择有严苛的要求,只选用市场上品质好的产品。Iradion 作为其晶圆打标核心部件的供应商,从选配到售后都提供了定制化的服务。
Iradion 期待以品质与服务与您携手。更多内容请联系我们的销售人员。