安川伺服电机驱动器报警代码 ５２０ 表示振动警报，即检出电机速度异常振动，以下是一些常见的维修思路 ：
检查机械部分
检查负载情况：查看电机所带负载是否不均衡，是否存在过重或过载的现象，如有需调整负载分布或减轻负载，使负载在电机和驱动器的承载范围内。
检查轴承：轴承磨损可能导致电机转动不平稳，产生振动。检查轴承是否有松动、异响、磨损等问题，如有则需更换新的轴承。
检查传动部件：传动部件如联轴器、皮带、齿轮等的松动、磨损或损坏也可能引起振动。检查这些部件的连接是否紧固，有无磨损、变形等情况，及时进行紧固或更换。
检查电气部分
检查电机接线：确保电机的 Ｕ、Ｖ、Ｗ 相序接线正确，无松动、虚接等问题。如有错误，需重新正确接线；若接线松动，则需拧紧接线端子．
检查编码器：编码器故障或连接不良可能导致电机速度反馈异常，从而引发振动警报。检查编码器的连接是否牢固，信号线是否受损；使用工具对编码器进行校准与测试，确保信号传输准确．
检查驱动器参数设置：
速度环增益：速度环增益 （Ｐｎ１００） 设置过高可能使驱动器对速度变化响应过于灵敏，产生异常振动。可适当降低速度环增益，观察振动是否减小，以找到合适的增益值．
转动惯量比：转动惯量比 （Ｐｎ１０３） 的值应与实际负载相匹配。若该值比实际值大或有较大变动，会导致电机速度控制异常。需根据实际负载情况调整转动惯量比，确保其设置正确．
位置偏差过大报警水平：检查位置偏差过大报警水平 （Ｐｎ５２０） 的设置是否过低，不适合当前的运行条件。可根据实际情况适当提高该参数值．
检查运行环境
温度：确保驱动器工作环境温度在规定范围内，温度过高可能影响驱动器性能。若环境温度过高，需改善通风条件或采取降温措施。
湿度：环境湿度过高可能导致驱动器内部元件受潮，引发故障。保持工作环境干燥，必要时使用除湿设备。
电磁干扰：附近的强电磁干扰可能影响驱动器的正常运行。检查周围是否有大型电机、变频器等设备产生干扰，可采取屏蔽、隔离等措施减少干扰。
进一步检测与处理
检查电机运行状态：在电机运行时，使用仪器检测电机的速度、转矩波形以及异常声音，分析振动的频率、幅值等特征，以更准确地判断故障原因．
驱动器内部检测：若上述检查均未发现问题，则可能是驱动器内部电路故障。打开驱动器外壳，检查功率模块、电容、电阻等元件是否有损坏、老化、虚焊等问题，使用万用表等工具进行测量，如有损坏则需更换相应元件．
软件更新与复位：检查驱动器的软件程序是否为新版本，如有需要可进行更新。也可尝试对驱动器进行软件复位，恢复默认设置，但需注意备份重要参数