作为精密元素分析仪器之一，XRF分析仪在分析元素时，经常会出现同一个样品检测的精度不一样的现象，多数操作者多一位是仪器出现故障。其实不然，那么XRF这款精度仪器在使用过程中，会受到那些因素的影响而导致结果出现偏差。
1、时间
一般来说，检测的时间越长，精度就越准确，ROHS分析仪30~600秒；合金分析仪10~60秒；矿石分析仪：30~90秒，
2、均质
样品一定要均匀，尽量不要出现凹凸不平，凹凸的样品很容易出现偏差。样品很好额平面放在某处，
材质
不同的物质结果不一致，那是肯定的就算同是合金材料也分铁、铝、镁等不同元素组成。
粒度
被检测的样品越小越好，样品大小和仪器的显示屏差距不大是很好，如果检测样品过于庞大，比较容易出现样品元素组成不一样，导致元素的含量与成分结果就不一样。
厚度
XRF分析仪，有个很明显的特点，就是对样品的厚度有一定限制，特别是很多合金样品可能会在材料商涂层铜、金属、塑胶，这个时候检测材质需要对样品的表层进行处理，才能保证检测结果的准确。
3、合金材料的检测厚度：
聚合物与轻合金固体5MM
其他合金1MM
液体15MM
湿度:干燥
4、元素干扰
样品中测试元素的特征谱线的强度会受到其它元素的干扰
典型的干扰如下：
镉：可能的干扰来自溴，铅，锡，锑
铅：可能的干扰来自溴
汞：可能的干扰来自溴，铅，以及样品中高浓度的钙和铁
铬：可能的干扰来自氯
溴：可能的干扰来自铁及铅
