白光干涉仪是以白光干涉技术为原理（用于光在两个不同表面反射后形成的干涉条纹进行分析的设备），能够以优于纳米级的分辨率，非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。其基本原理就是通过不同光学元件形成参考光路和检测光路。用于表面形貌纹理，微观结构分析，用于测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等等领域。
白光干涉仪是利用光学干涉原理研制开发的超精密表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分威两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置解析出被测样品的相对高度。白光干涉仪的具体测量步骤；
以测量单刻线台阶为倒，在检查仪器的各线路接头都准确插到对应插孔后，开启仪器电源开关，启动计算机，将单刻线台阶工件放置在载物台中间位置，先手动调整载物台大概位置，对准白光干涉仪目镜的下方。
在计算机上打开白光干涉仪测量软件，在软件界面上设置好目镜下行的最低点，再微调镜头与被测单刻线台阶表面的距离，调整到计算机屏幕上可以看到两到三条干涉条纹为佳，此时设置好要扫描的距离。按开始按钮，白光干涉仪可自动进行扫描测量，测量完成后，转件自动生成3D图像，测量人员可以对3D图像进行数据分析，获得被测器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、0D参数。对样品的几点要求；
1. 样品厚度：白光干涉仪的测量精度受到样品厚度的影响，一般要求样品厚度在几纳米至几百微米范围内，过厚或过薄的样品对测量精度都会产生较大的影响。
2. 样品透明度：白光干涉仪可测量的透明材料的折射率与样品的透光性相关，要求样品对白光具有一定的透光性，否则可能无法进行测量。
3. 样品净度：样品表面的干净程度对白光干涉仪的测量精度也有着较大的影响，必须保证样品表面干净并且不会出现划痕、斑点等对测量结果产生影响的污渍。
4. 样品几何形状：样品的几何形状也对白光干涉仪的测量精度产生一定的影响，可测量的样品形状要求比较简单，zuihao能够保持平整且不发生变形。
在进行白光干涉仪的样品测量时，需要依据所测量的样品特性，合理选择样品的净度、数量及厚度。同时，在实践中还需要注意避免光路干扰、保证样品的平整性等因素，以确保测量的准确性和可靠性。
白光干涉仪的优点：
白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能全面、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。白光干涉仪独有的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。